LFIX多路气体动态配气装置用于2路及以上气体比例动态混合配比

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LFIX多路气体动态配气装置用于2路及以上气体比例动态混合配比

多路气体动态配气装置用于2路及以上气体进行比例动态混合配比,可以对不同的气体浓度进行测量及控制。精确控制各组份气体浓度,可进行动态气体浓度的配比、多达20段分段模式动态配比,自动计算数据并生成报告,实时在线输出到终端设备中,操作人性化,大大提高了使用时的方便性。应用领域:医药、环保、半导体、化学化工、科研院所、食品保鲜、特种材料学科、微电子工艺设备、精密浓度传感器工艺本公司所研发、设计、生产的多路气体混合配比仪、非标气体定制设备,均采用国内外先进技术研制的精密设备进行检测,大大的提高了我公司产品在使用时的准确性和稳定性。(一)气体传输:2-16种气体?,?Swagelok卡套连接(二)气体类型:30种(三)进气压力:0.1-3MPA(四)控制阀动作型式:常闭式(五)响应时间(sec):1S(六)工作压差:0.05~0.5MPA(七)耐压:3MPA(八)控制原理:质量流量控制,每个出口单独控制(九)流量:50SCCM,100SCCM,500SCCM,10SLM,100SLM,1000SLM,3000SLM可定做?可任意范围内调节比例关系(定货时需要说明使用的范围)。(十)采用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同的气体进行流量量测及控制,并且不会受到温度及压力变化的影响
其他流速可选择?,其他气体可选择(十一)准确性:?优于1%(根据流量大小而定)(十二)数据:输出的数据转换为标准状态下的质量(?1个大气压,0度)标准状态规定为:标准温度………………0℃(273.15K)标准压强………………101325Pa控制显示方式:电脑操作精 确控制两种不同气体流量大小,使用其按不同比例(量)均匀混合,并精 确控制混合气体流量大小。可通过电脑软件控制及采集流量信号

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